電子銃電源、高圧電源、イオン銃電源、X線、特注電源は高圧電源と電子応用機器のフューテックスにおまかせください。




ケーススタディ

フューテックスには、高圧電源や各種電子応用機器のさまざまなニーズに最大限お応えするため、時代の最先端技術への取り組みを通じて、柔軟な対応を心がけております。
以下に対応事例を集めましたのでご覧ください。

高圧電源のケーススタディ

Case1:FIB装置のイオンビームを制御したい

IB303シリーズをお勧めします。IB303シリーズは、FIB装置用のイオン銃制御用に設計された電源システムです。加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源すべてが内蔵されています。また、オプションでレンズ用電源を2系統追加搭載が可能です。

Case2:TFE-SEM電子銃制御に必要な高性能電源がほしい

FE3030XPAがお勧めです。加速電源は、専用設計とすることで業界でも群を抜く超高安定度、超低リップルノイズを実現しています。FE303XPAは、TFE-SEMの電子銃パラメータを独立に変更をすることができます。また、お客さま側のシステムにマッチングした完全カスタマイズ設計をすることもできます。加速電圧の変更や電極の追加など、お客さまの電子銃やエミッターの研究・開発に最適です。

Case3:御社の電子銃(イオン銃)用高圧電源の特徴を教えてください

電子銃(イオン銃)用電源は、ただ高性能な高圧電源モジュールを組み合わせただけの製品ではありません。私たちは、TFE電子銃(イオン銃)と高圧電源とは、基本的にセットであり、ひとつのシステムであるべきと考えています。 例えば、各電源のフローティング構造や、負荷側で放電が起きた際の独自の放電経路の確保などを特徴としております。

Case4:電子ビームの応用システムを開発するための制御ソフトがほしい

フューテックスではオプションとしてTFE電子銃用のFE303シリーズ、イオン銃用のIB3030シリーズともに、制御用ソフトウェアをご用意しております。各種電源の設定をすると同時にモニターをおこないます。また、各種電源をシーケンシャルに立ち上げるための設定が、グラフィカルで簡単におこなえるシーケンスエディター機能も備わっております。

Case5:電子線を応用した半導体検査システムに対応することは可能でしょうか?

原則的に対応できます。電子銃の構成仕様以外に、制御系をはじめ、スティグマ系、アライメント系、偏向系、その他各種磁界レンズ、減速レンズ、ウェハ・チャッキングなど、お客様のシステムに必要とされる仕様で提案いたします。

Case6:電子線の特殊なアプリケーションに対応することは可能でしょうか?

対応可能です。まずは、お客様のシステムにおいてどのような電源や機能ユニットが必要かをご提示ください。その上で必要に応じて機能ごとにモジュール化などを提案させて頂き、設計・製作いたします。例えばシステムに必要な受電ユニットや直流ソース電源など、システムインテグレーションでの提供が可能です。

Case7:高圧電源以外にも特注電源の製作は可能でしょうか?

可能です。例えば、荷電粒子ビームのアプリケーションでは、ほとんどのケースでレンズ機能が要求されます。フューテックスでは、静電レンズ以外に一般的な磁界レンズ用電源(定電流)の開発実績があります。もちろん電流安定度はアプリケーションに必要な安定度を考慮した10ppm以下も可能です。

Case8:X線アプリケーションにはどこまで対応可能でしょうか?

フューテックスでは、アライアンス先企業である鬼塚硝子殿と共同で冷陰極X線発生システムを開発しました。2011年4月現在、20KV以下までの対応ですが、今後は随時高エネルギータイプの製品も開発していく予定です。 構成内容:X線管、専用電源、専用ケーブル (詳細はメールにてお問い合わせください)





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