-
2023年06月05日(月)
超高圧4極電子銃電源UHV204-4NS
-
特徴
・ 高安定度/低リップルノイズ/高安定温度特性
・ SF6ガス絶縁：0.19Mpa
・ 簡単操作
・ 外部PCより制御可能
・ オートシーケンスプログラム機能
・ Slow up/down機能搭載
・ 過電流/過電圧 保護機能標準搭載
・ RoHS対応品
・ 対称型CWC回路採用
・ サーポート（支柱）内蔵で設置が安易
仕様
・入力電圧 90V～240VAC 単相 5.0A(50/60HZ) ※1 ウォーミングアップ90分後
加速電圧
(対 GND基準）
カソード電源
(対 加速基準）
グリッド１電源
(対 加速基準）
グリッド２電源
(対 加速基準）
出力電 圧
-1kV～-200kV
0～5V
-0.03kV～ -1kV
+0.4kV～+8kV
電 圧 絶 対 精 度
＜ 0.1%
−
＜ 1.0% @500V
＜ 0.1%
設 定 精 度
20bit (0.2V LSB)
16bit (1mA LSB)
16bit (0.1V LSB)
16bit (0.13V LSB)
出力電 流
1mA max
0～3.5A(17.5W max) （定電流制御）
150μA max
1mA max
リ ッ プ ル ノ イ ズ
＜ 2Vp-p@200kV
＜ 5mA p-p @3A
＜ 20mVp-p
＜ 50mVp-p
@5.0kV
絶 対 精 度
−
±0.01A
−
−
安 定 度
25ppm/1hr@200kV
※2
25ppm/1hr
@ 3.0A
25ppm/1hr
※1
25ppm/1hr
※1
温 度 係 数
10ppm/℃
10ppm/℃
10ppm/℃
10ppm/℃
オプション： 200kV高電圧コネクタ（ブッシング）、ケーブルアッセンブリ ＊カスタマイズ対応可能です
ギャラリー
電子銃電源本体
電子銃電源本体
抵抗負荷治具（ダミーロード）
搬送時の振動によるトラブルを防止するサポート
制御ソフト（オートシーケンス可能）
-
-
2023年05月17日(水)
FE303XS TFE電子銃用－30KV高圧電源・標準
-
構成
加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源
OPT：コンデンサ・レンズ電源、オブジェクト・レンズ電源、コントローラ
-
-
2023年05月17日(水)
FE303XP TFE電子銃用－30KV高圧電源・高精度
-
構成
加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源
OPT：コンデンサ・レンズ電源、オブジェクト・レンズ電源、コントローラ
-
-
2023年05月17日(水)
FE103XP TFE電子銃用-10kV高圧電源・CD-SEM,レビューSEM用
-
構成
加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源
OPT：レンズ電源、コントローラ
-
-
2023年05月17日(水)
FE503XP TFE電子銃用－50KV高圧電源・電子線リソグラフィ用
-
構成
加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源
OPT：静電気レンズ電源、コントローラ
-
-
2023年05月17日(水)
TL303S LaB6電子銃用－30KV高圧電源・完全カスタムオーダー
-
LaB6カソード電子銃を使用したSEM用の電源です。
構成
加速電源、バイアス電源（アクティブ・バイアス方式）、フィラメント電源
OPT：コントローラ
-
-
2023年05月17日(水)
TW303S 汎用熱電子銃用－30KV高圧電源・完全カスタムオーダー
-
汎用SEM用の電源です。
構成
加速電源、バイアス電源（アクティブ・バイアス方式）、フィラメント電源
OPT：コントローラ
-
-
2023年05月17日(水)
高耐圧フローティング微少電流計 HVPA303 HV Floating Pico-ammeter
-
基本仕様
供給電源
DC24V/0.5A
レンジ切替
8桁
1mA,100μA,10μA,1μA
100nA,10nA,1nA,100pA
制御信号
TTLレベル切替信号
印可電圧
±30kV以下
出力モニタ電圧
各レンジ0～10V
電流入力
100µA以下
読取誤差
0.2%以下
特徴
完全密閉シールド型
Oリングシールにより外気と遮断
空気絶縁
30kV耐圧シールド
ケーブル・コネクタ付き
特注品について
各レンジのご指定電流値および最大印可電圧50kVまで対応
オプション対応
シリアル通信ポート：RS-232C 、7seg LED表示器
寸法図
H:130mm W:130mm L:286.8mm@30kV製品 (*予告なく変更する場合があります)
-
-
2023年05月17日(水)
IB303XS FIBイオン銃用＋30KV高圧電源・標準タイプ
-
構成
加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源、OPT、コンデンサ・レンズ電源、オブジェクト・レンズ電源、コントローラ
※左写真は、オプションのコントローラを本体パネルに組み込んだ例です。
詳しい製品詳細はメールにてお問い合わせください。
-
-
2023年05月17日(水)
IB303XP FIBイオン銃用＋30KV高圧電源
-
構成
加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源、OPT、コンデンサ・レンズ電源、オブジェクト・レンズ電源、コントローラ
※左写真は、オプションのコントローラを本体パネルに組み込んだ例です。
-
TOP > お知らせ
